B9 磁気中性線放電ドライエッチング装置の改造工事を2月前半（2/1-2/17）を予定しておりますので、この期間はB9装置がお使いいただけません。
ご利用者の皆様にはご不便をおかけし大変申し訳ございませんがご理解とご協力の程、宜しくお願い申しあげます。
※日程は前後する可能性がございます。ご了承ください。