ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

2017/01/23
装置利用停止のお知らせ

3月27日(月)から4月3日(月)は装置、設備のメンテナンスのためご利用できません。
なお、大面積超高速電子線描画装置(A15)は、4月3日(月)から4月13日(木)までメーカによるメンテナンスを行いますので、本装置のみ3月27日(月)~3月31日(金)の期間利用できます。
この期間で利用を希望される方は、別途ご連絡のほどお願いします。