上記期間において高速高精度電子ビーム描画装置（A1）のメンテナンスおよび描画高速化の改造工事（スキャンスピード：16.6MHｚ　→　100MHzにアップ）を行うため本装置利用ができません。
ご不便をおかけしますが、ご了解のほど宜しくお願いいたします。