現在、6号館クリーンルームの冷却水循環ポンプ故障により、冷却水を使用する下記の装置はご利用いただけません。
復旧の目途がたちましたら、お知らせいたします。
ご不便をおかけし誠に申し訳ございませんが、何卒よろしくお願い申し上げます。

1)A1：高速高精度電子ビーム描画装置
2)A2：ステッパー
3)A10 : レジスト現像装置
4)A12：ウエハー汚染計測装置
5)A14：有機現像液型レジスト現像装置
6)B3：電子線蒸着装置
7)B5：プラズマCVD装置
8)B7 : 熱酸化炉
9)B8-1, B8-2 : 深堀りドライエッチング装置
10)B9 : 磁気中性線放電ドライエッチング装置
11)B10 : ドライエッチング装置
12)B11：電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
13)B12 : シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム