3月27日（火）から4月2日（月）は装置、設備のメンテナンスのためご利用できません。
なお、大面積超高速電子線描画装置（A15）は、4月4日（水）から4月13日（金）までメーカによるメンテナンスを行いますのでご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。