A15大面積超高速電子ビーム描画装置（F7000-KYT01）定期メンテを10月9日から10月19日にかけて実施します。
利用開始は、10月22日からの予定です。ご利用者の皆様には、ご不便をおかけし大変申し訳ございませんが、ご理解とご協力の程、宜しくお願い申し上げます。