A15 大面積超高速電子ビーム描画装置（F7000S-KYT01) の定期メンテを3月18日（月）から3月29日（金）にかけて実施します。この間、装置が利用できません。
ご不便をお掛けし誠に申し訳ございませんが、ご理解とご協力の宜しく御願い申し上げます。