ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

2024/09/11
レーザーダインシング装置(B18)ご利用方法について
10月1日から通常運用に戻します。

7月、レーザーキャリブレーション時に透過率上限エラーが発生したため、
装置メーカーに調査を依頼しましたが、原因が特定できない状況です。
8月中旬以降、透過率は通常の値に戻りエラー発生もない状態が続いております。
 
そこで、装置の状態の確認も含めて9月17日より1か月程度、
下記のとおり運用します。
 
①ご利用は、 月・火・木曜日の10時から17時までとします。
②装置のご予約希望の場合は、一度メールにて担当者宛(井上)に連絡して
ください。問題なければ、装置メンテ解除し、装置予約をしておきます。
 
*最終の装置予約の確定は、装置担当(井上)からメールにて連絡させて
いただきます。御希望通りの日にご利用いただけない場合がありますが、
ご了承の程、宜しくお願いいたします。
※B20/B21/B22の予約は、必要に応じてB18の予約が決まれば
ユーザー様にてお願いします。

 
③最初の処理は、ナノハブ装置担当者(井上)立ち合い又は状況の確認をしながら実施します。問題なければ、その後はユーザーにて処理継続とします。
 
尚、装置利用途中でエラー発生する可能性がありますが、その場合はその後の処理ができなくなります。(エラー発生後の利用は無料キャンセルとします。)
また、装置の状態が悪化すれば、その日以降装置が利用できなくなります。
(予約確定された利用は無料キャンセルとします。)
 
以上の点をあらかじめご了承いただき、
ご利用いただきますよう宜しくお願いいたします。
 
ご利用の皆様には、ご不便をおかけし、誠に申し訳ございません。