ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

2025/04/30
プロセスデータ作成のマニュアルについて

ARIM(データ提供あり)の利用者 各位
 ※課題IDのイニシャルがH、J、K、Lの利用者

 
ARIM(データ提供あり)の利用者の方々は、利用に伴い発生するデータの
ご提供をお願いいたします。
この度、「設備利用管理システム」上に「プロセス作成ツール(Process
Flow)」を導入しました。

このツールは、主にナノハブ側で準備したライブラリデータ(一部利用者
提供あり)を参考(データ抽出)にして、利用者のプロセスフローとレシピ
データを作成するものであり、「プロセス作成ツール」に入力をお願い
いたします。

 
プロセス作成ツールのマニュアルについては、テキスト版、動画版を下記に
公開しておりますのでご確認ください。

プロセス作成ツール 動画マニュアル
プロセス作成ツール テキストマニュアル