下記のとおり，装置利用サービスを休止いたします。

・休止装置：A12/ICP質量分析装置
      B05/プラズマCVD装置

・期間：2019年2月27日(水)～4月5日(金)

・休止理由：プラズマCVD装置のSiN化増設に伴う利用休止
     （ICP質量分析装置は移設）

以上ご不便をお掛け致しますが、ご理解のほど宜しくお願い申し上げます。