現在、プラズマCVD装置の窒化膜成膜増設に伴う利用休止で
ご迷惑をおかけしております。4月8日より利用再開させてただだきます。

新たな窒化膜成膜に加え、従来からの酸化膜成膜もオペレーションが
変更になりますので、予約の前に、メール(kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp)で
担当者と日程調整していただいたくようお願いいたします。

すでに本装置をご利用の場合は、装置講習料は不要です。
ご不便をおかけしますが、ご協力のほど、よろしくお願いいたします。