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日付	カテゴリー	タイトル
2023年03月01日		赤外線ランプ加熱装置 Rapid Thermal Annealing Apparatus
2023年03月01日		誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置 Inductive Coupling Plasma Reactive Ion Etcher
2020年09月30日		水蒸気プラズマクリーナー Aqua Plasma Cleaner
2019年09月25日		UVオゾンクリーナー・キュア装置 UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment
2019年01月15日		多元スパッタ装置（仕様Ａ） RF Magnetron Multi-Sputter Type-A
2019年01月15日		多元スパッタ装置（仕様B） RF Magnetron Multi-Sputter Type-B
2019年01月15日		電子線蒸着装置 Electron Beam Evaporator
2019年01月15日		真空蒸着装置 Thermal Evaporator
2019年01月15日		プラズマCVD Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System
2019年01月15日		集束イオンビーム／走査電子顕微鏡 Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM
2019年01月15日		熱酸化炉 Thermal Oxidation Furnace
2019年01月15日		深堀りドライエッチング装置 Reactive Ion Deep Silicon Etcher
2019年01月15日		磁気中性線放電ドライエッチング装置 Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Dry Etcher
2019年01月15日		ドライエッチング装置 Capacitive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher
2019年01月15日		電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 Electron Cyclotron Resonance Ion Shower
2019年01月15日		シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム Vapor HF Release Etcher
2019年01月15日		シリコン犠牲層ドライエッチングシステム Vapor XeF 2 Release Etcher
2019年01月15日		赤外フェムト秒レーザ加工装置 Femtosecond Cr:Forsterite Laser System
2019年01月15日		レーザアニール装置 KrF Laser Annealing System
2019年01月15日		紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 UV-Nanoimprint Lithography & Infrared Mask/Bond Aligner