| 日付 |
カテゴリー |
タイトル |
| 2023年09月13日 |
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熱インプリント装置
Hot Embossing System |
| 2023年09月13日 |
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UVナノインプリント装置
UV-based Nanoimprint Lithography System |
| 2023年03月01日 |
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赤外線ランプ加熱装置
Rapid Thermal Annealing Apparatus |
| 2023年03月01日 |
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誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置
Inductive Coupling Plasma Reactive Ion Etcher |
| 2020年09月30日 |
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水蒸気プラズマクリーナー
Aqua Plasma Cleaner |
| 2019年09月25日 |
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UVオゾンクリーナー・キュア装置
UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment |
| 2019年01月15日 |
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多元スパッタ装置（仕様Ａ）
RF Magnetron Multi-Sputter Type-A |
| 2019年01月15日 |
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多元スパッタ装置（仕様B）
RF Magnetron Multi-Sputter Type-B |
| 2019年01月15日 |
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電子線蒸着装置
Electron Beam Evaporator |
| 2019年01月15日 |
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真空蒸着装置
Thermal Evaporator |
| 2019年01月15日 |
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プラズマCVD
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System |
| 2019年01月15日 |
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集束イオンビーム／走査電子顕微鏡
Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM |
| 2019年01月15日 |
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熱酸化炉
Thermal Oxidation Furnace |
| 2019年01月15日 |
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深堀りドライエッチング装置
Reactive Ion Deep Silicon Etcher |
| 2019年01月15日 |
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磁気中性線放電ドライエッチング装置
Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Dry Etcher |
| 2019年01月15日 |
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ドライエッチング装置
Capacitive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher |
| 2019年01月15日 |
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電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
Electron Cyclotron Resonance Ion Shower |
| 2019年01月15日 |
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シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor HF Release Etcher |
| 2019年01月15日 |
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シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor XeF 2 Release Etcher |
| 2019年01月15日 |
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赤外フェムト秒レーザ加工装置
Femtosecond Cr:Forsterite Laser System |
