ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

日付 カテゴリー タイトル
2020年09月30日 水蒸気プラズマクリーナー
Aqua Plasma Cleaner
2019年09月25日 UVオゾンクリーナー・キュア装置
UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment
2019年01月15日 多元スパッタ装置(仕様A)
RF Magnetron Multi-Sputter Type-A
2019年01月15日 多元スパッタ装置(仕様B)
RF Magnetron Multi-Sputter Type-B
2019年01月15日 電子線蒸着装置
Electron Beam Evaporator
2019年01月15日 真空蒸着装置
Thermal Evaporator
2019年01月15日 プラズマCVD
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System
2019年01月15日 集束イオンビーム/走査電子顕微鏡
Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM
2019年01月15日 熱酸化炉
Thermal Oxidation Furnace
2019年01月15日 深堀りドライエッチング装置
Reactive Ion Deep Silicon Etcher
2019年01月15日 磁気中性線放電ドライエッチング装置
Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Dry Etcher
2019年01月15日 ドライエッチング装置
Capacitive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher
2019年01月15日 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
Electron Cyclotron Resonance Ion Shower
2019年01月15日 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor HF Release Etcher
2019年01月15日 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor XeF 2 Release Etcher
2019年01月15日 赤外フェムト秒レーザ加工装置
Femtosecond Cr:Forsterite Laser System
2019年01月15日 レーザアニール装置
KrF Laser Annealing System
2019年01月15日 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
UV-Nanoimprint Lithography & Infrared Mask/Bond Aligner
2019年01月15日 基板接合装置
Wafer Bonder
2019年01月15日 レーザダイシング装置
Laser Stealth Dicer