ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

日付 カテゴリー タイトル
2024年04月10日 二光子重合式3Dプリンター
3D Nanolithography System
2024年04月10日 マスクレス露光装置
Advanced Maskless Aligner
2024年02月09日 回路&レイアウト設計ツール
Ics Design & Layout Editor
2023年03月01日 高圧ジェットリフトオフ装置
High Pressure Jet Lift-off Apparatus
2020年09月30日 超臨界洗浄・乾燥装置
Supercritical Rinser & Dryer
2019年09月25日 近接効果補正システム
Proximity Effect Correction System
2019年01月15日 両⾯マスク露光&ボンドアライメント装置
UV-Nanoimprint Lithography & Infrared Mask/Bond Aligner
2019年01月15日 高速高精度電子ビーム描画装置
Ultra-High Precision Electron Beam Lithography
2019年01月15日 露光装置(ステッパー)
i-line Stepper
2019年01月15日 レーザー直接描画装置
Laser Pattern Generator
2019年01月15日 高速マスクレス露光装置
High Speed Maskless Laser Lithography
2019年01月15日 両面マスクアライナー
Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner
2019年01月15日 紫外線露光装置
Contact Mask Aligner
2019年01月15日 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
Advanced Spin Coater
2019年01月15日 レジスト塗布装置
Photoresist Spin Coater
2019年01月15日 スプレーコータ
Photoresist Spray Coater
2019年01月15日 レジスト現像装置
Photoresist Developer
2019年01月15日 ウエハスピン洗浄装置
Wafer Spin Cleaner
2019年01月15日 ICP質量分析装置
Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer
2019年01月15日 超微細インクジェット描画装置
Super Fine Inkjet Printer